플라스마를 이용해 반도체 웨이퍼의 표면에 초박막을 원자층으로 입힐 수 있는 반도체 장비가 국내 벤처기업에 의해 개발됐습니다.
벤처기업인 지니텍은 플라스마를 이용해 D램 반도체와 F램 반도체에 10 나노미터 정도의 극초박막을 형성할 수 있는 플라스마 원자층 증착기술 장비를 개발하는데 성공해 미국과 일본,유럽연합 등에 국제특허를 출원했다고 밝혔습니다.
이 장비를 현대전자 이천공장에 시범 장착해 사용한 결과 기존 외국 장비에 비해 증착속도가 최고 2배 가량 빠르고 저온에서도 고품질의 박막을 웨이퍼에 입힐 수 있는 것으로 나타났습니다 (끝)