[단독] ‘주력 생산’ 반도체용 일본산 감광액 정상 수입 확인…‘최악 사태’ 피하나

일본이 지난 4일부터 반도체·디스플레이 생산에 사용하는 3개 소재 수출규제를 강화한 가운데 D램과 낸드플래시 등 메모리 반도체 생산에 쓰이는 일본산 포토레지스트(감광제)는 정상 수입되고 있는 것으로 확인됐습니다.

10일 반도체 업계와 산업통상자원부에 따르면 일본산 ArF(불화아르곤)용 포토레지스트는 지난 4일 이후로도 통관을 거쳐 정상 입고되었습니다.

산업부 관계자는 "4일 이후 EUV(극자외선)용 포토레지스트는 수입이 안되고 있지만, ArF용 포토레지스트는 정상 수입된 것으로 확인됐다"고 밝혔습니다. 업계 관계자는 "ArF용 포토레지스트의 정상 입고로 D램 생산 차질은 전혀 없는 상태"라고 말했습니다.

앞서 일본 경제산업성은 '15나노미터~193나노미터 미만 파장의 빛에서 사용하기 최적화된 포지티브형 레지스트'를 규제 대상이라고 밝혔습니다. ArF용 포토레지스트는 193나노미터 파장의 빛에서 사용되는 레지스트여서 규제 대상인지를 놓고 해석이 분분했습니다.

세계 반도체 시장의 70%를 점유하고 있는 국내 메모리반도체 생산에는 규제 대상이 아닌 KrF·ArF용 포토레지스트가 쓰이기 때문에 일본의 레지스트 수입 규제로 인한 메모리반도체 생산 차질은 일어나지 않을 것으로 예상됩니다.

다만 삼성전자는 차세대 시스템반도체 생산 공정에 일본산 EUV용 포토레지스트를 사용하고 있어 일본이 수출 불허 결정을 내리면 시스템반도체 생산 타격이 불가피합니다.

한편 일본 정부는 고순도 불화수소와 플루오린 폴리이미드에 대한 수출 심사도 포괄 허가에서 개별 허가로 통관 절차를 강화해 두 소재로 인한 반도체 및 디스플레이 생산 차질 우려는 계속되고 있습니다.

각 소재의 통관 심사에는 최장 90일이 걸릴 것으로 예상되는데, 고순도 불화수소의 경우 국내 재고가 1~2달치에 불과한 것으로 알려졌습니다.

업계 관계자는 "고순도 불화수소는 D램과 낸드플래시, 시스템반도체 등 거의 모든 반도체 생산에 쓰이기 때문에 단기적으로 생산 차질을 빚을 수 있는 가장 큰 요인이 될 수 있다"고 설명했습니다.

이 때문에 지난 7일 일본으로 출국한 이재용 삼성전자 부회장도 일본 경제계 관계자들을 만나며 불화수소 수입 방안 등을 논의한 것으로 알려졌습니다.

[사진 출처 : 연합뉴스]