반도체 국산화 현실로…12인치 테스트베드 구축

12인치 반도체 기판 테스트 베드 핵심 장비인 불화아르곤 이머전 스캐너(ArF Immersion Scanner).

■나노종합기술원에 12인치 반도체 테스트 베드 구축

반도체 국산화의 꿈이 이제 현실로 다가오게 됐습니다.

반도체 소재·부품·장비 국산화를 위해 꼭 필요했던 12인치 반도체의 테스트 베드가 국내에서 처음으로 대전의 나노종합기술원에 구축됐습니다.

이번에 구축된 테스트 베드는 전 세계 반도체 산업에서 가장 많이 쓰이는 12인치 반도체 소재·부품·장비 기술과 제품 성능을 평가해볼 수 있는 시스템입니다.

나노종합기술원은 지난해부터 총 450억 원의 정부 예산을 지원받아 12인치 반도체 테스트 베드 구축에 심혈을 기울여 왔으며, 2022년 최종 완성할 계획입니다.

이번에 구축된 12인치 반도체 테스트 베드의 핵심 장비는 불화아르곤 이머전 스캐너(ArF Immersion Scanner)입니다. 불화아르곤 이머전 스캐너는 반도체 공정에서 빛을 쪼여 형태화하는 반도체 소재인 감광제를 평가하는 장비입니다. 1대당 가격이 천억 원에 달하지만, 나노종합기술원은 2백억 원을 들여 국내 모 대기업으로부터 중고 장비를 구매했습니다.

나노종합기술원은 지난해 9월부터 이 장비를 비롯해 증착·식각 장비 등 10종의 핵심 설비를 도입해 450억 원을 들여 천 ㎡ 규모로 12인치 반도체 테스트 베드 구축을 완료했습니다.

나노종합기술원 연구원이 12인치 반도체 패턴 웨이퍼를 살펴보고 있다.

■반도체 제조 중소· 중견 기업체 큰 도움 기대

12인치 반도체 테스트 베드는 우리나라 중소·중견기업이 개발한 반도체 핵심 소재 부품 장비의 성능 평가를 돕는 데 활용됩니다.

국내 반도체 제조 기업들은 일본 수출 규제 이후 미국이나 벨기에 등에 있는 연구 시설을 이용해 반도체 소재 부품 장비의 검증 시험을 하고 있습니다. 하지만, 비용이 너무 비싸 이용에 한계가 있었습니다.

시간적으로도 정말 비효율적이었습니다.

나노종합기술원은 12인치 반도체 테스트 베드를 통해 중소·중견기업이 개발한 반도체 핵심 소재의 성능 평가를 돕기 위해 이르면 내년 초부터 서비스를 시작할 예정입니다.

또, 삼성전자나 SK하이닉스 등 수요 기업 연계도 지원할 계획입니다.

앞으로 2단계 사업으로 40nm(1㎚는 10억분의 1ｍ)급 패터닝 공정 기술을 20nm급 다층 공정으로 끌어올려 테스트 베드를 구축하는 것을 목표로 하고 있습니다.