‘무결점 반도체 시대’ 연다

<앵커 멘트>

반도체를 만들 때 보통 초진공 상태에서 작업을 하는데요. 그런데도 원재료인 실리콘에 결점이 생기곤 해 그 원인을 두고 과학계에서는 수십년 동안 논란이 이어졌습니다.

이번에 국내 연구진이 그 원인을 밝혀내 앞으로 반도체 생산에 큰 영향을 끼칠 것으로 보입니다.

이정은 기자가 보도합니다.

<리포트>

대표적인 효자 수출 품목인 반도체.

한해 수출 규모가 수백억 달러에 이르는만큼 엄격한 품질 관리가 생명입니다.

하지만 원재료인 실리콘 웨이퍼가 워낙 민감해 완벽하게 깨끗한 상태를 유지하기는 불가능한 것으로 알려져 왔습니다.

실리콘 웨이퍼 위의 결점은 성능을 저하시키고 불량률을 높이는 반도체 공정 과정의 골칫거리였습니다.

과학계에서 수십년 동안 논란이 돼 온 이 결점의 원인이 국내 연구진에 의해 밝혀졌습니다.

알고 보니, 결점의 정체는 미세한 물분자였습니다.

어떤 생물체도 살 수 없는 백조 분의 1기압의 초고진공 환경에서도 잔류하고 있던 미세한 물 분자가 실리콘 원자와 결합해 결점을 만든 것입니다.

연구팀이 실리콘 웨이퍼에 물 분자를 넣어 만든 결함을 원자 단위까지 분석한 결과, 과거에 자연적으로 생긴 결함과 모형과 구조가 일치하는 것으로 나타났습니다.

<인터뷰> "반도체 공정 과정에서 나타나는 결함이 무엇 때문인지 몰랐는데, 이번 실험으로 물이 결함을 만들고 있다는 사실을 알게 돼서..."

연구팀은 이번 연구 결과가 단순한 기억소자를 생산하는 정도인 현재 한국 반도체 공정 수준을 한단계 높이는 발판이 될 것으로 기대했습니다.

KBS 뉴스 이정은입니다.