반도체 제조 장비 안전 지침 표준 마련

안전성 논란이 제기되고 있는 반도체 제조장비에 대한 국가표준이 마련됩니다.

지식경제부는 지난해 말에 제정된 반도체 제조장비 국제표준을 포함해 화학물질과 전리방사선 등 위험물질에 대한 안전 사항을 포괄하는 기준안을 만들어 업계 의견을 수렴한 뒤 다음달 말 표준을 제정할 방침이라고 밝혔습니다.

기준안에는 화학물질 관련 규정으로 장비에서 발생될 것으로 예상되는 화학물질의 목록 작성과 화학물질 가운데 악취성이나 자극성 물질에 대한 별도 표시 그리고 장비 작동 시 화학물질 방출 금지 등의 내용이 담겨 있습니다.

또 발암물질로 알려진 전리 방사선에 대해서도 시간당 2마이크로시버트 이하로 규정했고, 모든 반도체 제조장비에는 독성물질을 명확하고 쉽게 지워지지 않는 방식으로 표시하도록 명시했습니다.

지경부는 2008년에도 같은 내용의 표준안을 마련했다가 제정을 연기해 정치권과 시민단체로부터 삼성전자와 하이닉스 등 대기업의 반발로 안전기준을 제정을 외면했다는 비판을 받았었습니다.

지식경제부 관계자는 표준 제정은 삼성전자의 백혈병 논란 등과 특별히 관련 있는 것은 아니라고 말하고 국제 표준이 제정됐기 때문에 국내에서도 제조장비의 안전성을 확보한다는 차원에서 표준을 추진하는 것이라고 설명했습니다.