[단독] ‘세계 최초’ 초임계 반도체 장비 중국으로…수원지검, 4명 구속기소

초미세 반도체의 불량률을 줄이는 데 핵심적인 국내 첨단 기술 ‘초임계 세정 장비’가 중국으로 유출된 정황이 포착돼 검찰이 수사 중입니다.

수원지방검찰청은 삼성전자의 자회사 세메스 출신 직원 2명과 협력회사 관계자 2명 등 총 4명을 최근 부정경쟁방지법 위반 혐의로 구속 기소했다고 오늘(16일) 밝혔습니다.

이들이 빼돌린 것은 세메스 측이 2018년 세계 최초로 개발해 삼성전자에만 납품해 온 ‘초임계 세정 장비’인 것으로 드러났습니다.

초임계 세정 장비는 액체도 기체도 아닌 ‘초임계’ 상태의 이산화탄소로 반도체 기판을 세정하는 설비로, 기판의 손상을 최소화해 수율을 높이는 장비입니다.

검찰 수사 결과 세메스 출신 직원들은 퇴직 후인 2018년 중국의 한 연구소와 접촉해 초임계 세정 장비를 그대로 만들어 줄 수 있다며, 생산 설비가 없는 상태에서 18억여 원을 받아냈습니다.

이후 중국과의 합작 회사를 만들어 실제로 초임계 세정 장비를 만들어 넘겼고, 지금까지 모두 800억 원을 받은 것으로 나타났습니다.

검찰은 특히 이 과정에서 세메스의 협력사이자 삼성전자의 2차 협력사인 업체들도 가담한 것으로 보고 있습니다.

2차 협력사들을 통해 세메스 초임계 세정 장비에 납품하는 것과 같은 부품을 3배 가격으로 사들인 뒤, 똑같이 조립해 단기간에 장비를 만들어 넘기는 수법입니다.

피의자들은 독자 기술로 동일 장비를 만들어 중국 측에 정상 판매한 것이라고 주장하고 있지만, 검찰은 해당 설비가 삼성전자의 ‘맞춤형’ 장비인 만큼 독자 기술로 만들어 내는 것은 불가능하다고 보고 있습니다.

검찰은 세메스 출신 연구원 2명과 협력사 대표와 직원 등 2명까지 총 4명을 일단 구속 기소했습니다. 또 기술 유출 전반을 설계한 주범에 대한 수사를 조만간 마무리할 예정입니다.

초임계 세정 기술은 지난해 산업부가 ‘국가 핵심기술’로 지정했지만 사건이 발생한 2018년에는 미처 핵심기술로 지정이 안 된 상태였기 때문에 피의자들은 산업기술 유출 혐의만 적용받게 됐습니다.