인텔·일본연구기관, 일본에 반도체 제조장비·소재 연구개발 거점 설치

미국 반도체 기업 인텔이 일본 국립 연구기관인 산업기술종합연구소와 함께 일본에 최첨단 반도체 제조 장비와 소재 연구개발 거점을 설치할 계획이라고 니혼게이자이신문이 오늘(3일) 보도했습니다.

인텔과 일본 산업기술종합연구소는 수백억 엔을 투자해 3년에서 5년 뒤 연구개발 거점을 설립하는 것을 목표로 삼고 있습니다.

산업기술종합연구소는 이 거점에 일본 연구기관으로는 처음으로 극자외선(EUV) 노광장비를 도입할 방침입니다.

최첨단 반도체 양산에 필요한 EUV 노광장비는 네덜란드 반도체 장비 업체 ASML이 독점 생산하고 있습니다.

일본 대기업이 출자한 라피더스가 올해 12월 EUV 노광장비를 도입하지만 일본 연구기관은 이를 보유하고 있지 않습니다.

산업기술종합연구소는 연구개발 거점의 운영 주체가 되고, 인텔은 EUV 노광장비를 사용한 반도체 제조 노하우 등을 제공합니다.

일본은 반도체 생산에서는 한국과 타이완에 밀리지만, 반도체 장비와 소재 분야에서는 강점을 갖고 있습니다.

일본 반도체 소재·부품·장비 기업인 레이저테크는 EUV 관련 검사 장비 분야에서 시장 점유율 100%를 기록하고 있으며 JSR은 반도체 핵심 소재인 포토레지스트 제조에서 앞서 있습니다.

인텔은 새 거점을 통해 일본의 반도체 소재 및 장비 업체와 협업을 강화할 예정입니다.

[사진 출처 : 로이터=연합뉴스]