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반도체 생산용 핵심 센서 개발…장비 국산화 추진
입력 2021.05.31 (19:32) 수정 2021.05.31 (19:59) 뉴스7(대전)
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[앵커]

첨단 소재 부품 산업에서 반도체는 가장 핵심 분야로 손꼽혀 세계 각국의 경쟁이 치열한데요.

국내 연구진이 반도체 생산 공정에서 반도체 품질을 좌우하는 플라스마의 밀도를 실시간 측정할 수 있는 센서를 세계 최초로 개발했습니다.

양민오 기자가 보도합니다.

[리포트]

반도체를 만들려면 실리콘 등 얇은 기판에서 회로를 뺀 나머지 부분을 깎아야 합니다.

이 생산 공정에서 이온화된 기체인 '플라스마'를 사용하는데, 플라스마의 밀도와 온도, 균일도에 따라 반도체의 품질이 좌우됩니다.

기존 반도체 생산 공정에서는 전하량을 측정하는 간접 방식으로 플라스마 밀도를 측정했습니다.

하지만 품질 불량 문제가 발생하면 공정을 멈추고 센서를 삽입해 측정한 뒤 장비를 재가동해야만 했습니다.

그런데 국내 연구진이 세계 최초로 초고주파를 이용해 플라스마 밀도를 직접 측정하는 센서를 개발했습니다.

[이효창/한국표준과학연구원 첨단측정장비연구소 선임연구원 : "플라스마 밀도를 직접 측정하는 센서이고, 정확도 98% 이상으로 정밀한 센서이며, 실시간으로 플라스마 측정이 가능합니다."]

반도체 기판을 깎는 도중 플라스마가 얼마나 균일하게 작용하는지 파악할 수 있고, 이상 발생 여부를 바로 알 수 있어 그만큼 반도체의 불량율을 줄이고 생산성을 높일 수 있습니다.

[김정형/한국표준과학연구원 첨단측정장비연구소 책임연구원 : 플라스마 공정 장비를 스마트화하는…. 그렇게 함으로써 국내 장비 회사가 국산화하는 데 큰 기여를 할 수 있을 것으로 생각합니다."]

연구원은 이번 기술을 우리나라는 물론, 미국과 유럽, 중국과 일본에서도 특허 출원을 완료했습니다.

KBS 뉴스 양민오입니다.

촬영기자:서창석
  • 반도체 생산용 핵심 센서 개발…장비 국산화 추진
    • 입력 2021-05-31 19:32:22
    • 수정2021-05-31 19:59:28
    뉴스7(대전)
[앵커]

첨단 소재 부품 산업에서 반도체는 가장 핵심 분야로 손꼽혀 세계 각국의 경쟁이 치열한데요.

국내 연구진이 반도체 생산 공정에서 반도체 품질을 좌우하는 플라스마의 밀도를 실시간 측정할 수 있는 센서를 세계 최초로 개발했습니다.

양민오 기자가 보도합니다.

[리포트]

반도체를 만들려면 실리콘 등 얇은 기판에서 회로를 뺀 나머지 부분을 깎아야 합니다.

이 생산 공정에서 이온화된 기체인 '플라스마'를 사용하는데, 플라스마의 밀도와 온도, 균일도에 따라 반도체의 품질이 좌우됩니다.

기존 반도체 생산 공정에서는 전하량을 측정하는 간접 방식으로 플라스마 밀도를 측정했습니다.

하지만 품질 불량 문제가 발생하면 공정을 멈추고 센서를 삽입해 측정한 뒤 장비를 재가동해야만 했습니다.

그런데 국내 연구진이 세계 최초로 초고주파를 이용해 플라스마 밀도를 직접 측정하는 센서를 개발했습니다.

[이효창/한국표준과학연구원 첨단측정장비연구소 선임연구원 : "플라스마 밀도를 직접 측정하는 센서이고, 정확도 98% 이상으로 정밀한 센서이며, 실시간으로 플라스마 측정이 가능합니다."]

반도체 기판을 깎는 도중 플라스마가 얼마나 균일하게 작용하는지 파악할 수 있고, 이상 발생 여부를 바로 알 수 있어 그만큼 반도체의 불량율을 줄이고 생산성을 높일 수 있습니다.

[김정형/한국표준과학연구원 첨단측정장비연구소 책임연구원 : 플라스마 공정 장비를 스마트화하는…. 그렇게 함으로써 국내 장비 회사가 국산화하는 데 큰 기여를 할 수 있을 것으로 생각합니다."]

연구원은 이번 기술을 우리나라는 물론, 미국과 유럽, 중국과 일본에서도 특허 출원을 완료했습니다.

KBS 뉴스 양민오입니다.

촬영기자:서창석
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